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新华财经上海5月17日电上海凯世通半导体股份有限公司16日书记，凯世通国产粗劣大束流离子注入机12英寸晶圆产物片过货量突破500万片。经由五年技能攻坚，凯世通已毕了国产粗劣大束流离子注入机从样机研发、产线考据再到范围量产的跨越式发展，以环节中枢技能自主翻新突破海外企业旁边并已毕范围化替代，当今已撑握10余条国内主流12英寸集成电路产线安全量产，粉饰先进逻辑、先进存储、搏斗式图像传感器（CIS）以及功率芯片四大中枢边界，为我国芯片制造自主可控奠定基础。 离子注入机是芯片制造三大环节装备之一，开发

记者10日从中国科学院近代物理策动所获悉，国度紧要科研仪器研制形状——“粗劣量强流高电荷态重离子策动装配”通过国度当然科学基金委员会组织的大家验收。 “现时外洋上有多个重离子装配在建或建成，但在多学科交叉前沿基础策动规模和国度需求的遑急运用规模，仍缺少多功能、微型化的粗劣量强流重离子加快器装配。”该形状总崇拜东说念主、中国科学院院士赵红卫先容，“咱们自主研发了寰宇首台零丁开动的粗劣量强流高电荷态重离子加快器装配，可为核天体物理、原子物理等前沿基础策动和核能材料研发等遑急运用，提供先进的执行条目