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新华财经上海5月17日电上海凯世通半导体股份有限公司16日书记，凯世通国产粗劣大束流离子注入机12英寸晶圆产物片过货量突破500万片。经由五年技能攻坚，凯世通已毕了国产粗劣大束流离子注入机从样机研发、产线考据再到范围量产的跨越式发展，以环节中枢技能自主翻新突破海外企业旁边并已毕范围化替代，当今已撑握10余条国内主流12英寸集成电路产线安全量产，粉饰先进逻辑、先进存储、搏斗式图像传感器（CIS）以及功率芯片四大中枢边界，为我国芯片制造自主可控奠定基础。
离子注入机是芯片制造三大环节装备之一，开发难度仅次于光刻机，其中粗劣大束流离子注入机的市集范围最大、产业化难度极高，一直以来被海外半导体征战企业旁边。自2020年运行向国内头部12英寸产线拜托首台征战以来，凯世通坚握自主研发、原创狡计，已毕环节部件国产化，攻克了电性能环节工艺及28纳米工艺全粉饰，并获取先进制程产业化突破。
先导科技集团董事长、万业企业董事长兼总裁、凯世通董事长朱世会默示，富腾优配过货量突破500万片极具战术价值，体现了凯世通握续办事客户安全分娩的智商。凯世通将连接素雅围绕客户需求，聚焦“硬卡替”要领，加速离子注入机中枢技能攻坚，握续普及征战性能，延续餍足国内集成电路客户量产需求。
“过货量突破500万片大关这一里程碑既是对凯世通自主研发智商和机台产物力的实证，更是公司系统性智商跃升的聚首体现。”凯世通总司理陈克禄博士默示，凯世通五年来在技能研发、现场办事、分娩智商、供应链体系、质料管控等全宗旨智商体系成就上获取权臣跳动。从一年几千片到每月50万片，再到如今过货量突破500万片，凯世通使国产离子注入机从图纸走向产线，从“可用”迈向“好用”。
凯世通副总司理、首席技能官夏世伟默示，500万片是凯世通在国内头部12英寸的集成电路逻辑、存储大分娩线上已毕的真确产物分娩，象征着凯世通从研发阶段迈入安全踏实、可靠量产的国产化之路。凯世通也将连接以中枢科技筑牢中国集成电路产业发展之基。