凯世通粗劣大束流离子注入机过货量突破500万片 已撑握10余家国内12英寸产线量产
2025-06-06新华财经上海5月17日电上海凯世通半导体股份有限公司16日书记，凯世通国产粗劣大束流离子注入机12英寸晶圆产物片过货量突破500万片。经由五年技能攻坚，凯世通已毕了国产粗劣大束流离子注入机从样机研发、产线考据再到范围量产的跨越式发展，以环节中枢技能自主翻新突破海外企业旁边并已毕范围化替代，当今已撑握10余条国内主流12英寸集成电路产线安全量产，粉饰先进逻辑、先进存储、搏斗式图像传感器（CIS）以及功率芯片四大中枢边界，为我国芯片制造自主可控奠定基础。 离子注入机是芯片制造三大环节装备之一，开发